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離子分子質(zhì)譜儀的主要用途和送樣時注意事項(xiàng)

2021-11-15
   離子分子質(zhì)譜儀工作耐壓值高,脈動小、穩(wěn)定可靠。進(jìn)樣器與整機(jī)分體式模式,具有良好的抗干擾性和可拓展性。接頭、流路均使用進(jìn)口Peek材料,耐強(qiáng)酸強(qiáng)堿。連續(xù)自動再生電化學(xué)抑制器,抑制容量高。高分辨率觸摸屏配有WinCE操作系統(tǒng),以及全中/英文顯示的數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)。
 
  離子分子質(zhì)譜儀的主要用途:
  1.摻雜劑與雜質(zhì)的深度剖析。
 
  2.薄膜的成份及雜質(zhì)測定。
 
  3.超薄薄膜、淺植入的超高深度辨析率剖析。
 
  4.硅材料整體分析,包含B,C,O,以及N。
 
  5.工藝工具(離子植入)的高精度分析。
 
  6.可以用于材料表面和表層的化學(xué)成份分析。化學(xué)元素或化合物在表面和塊體材料內(nèi)部的分布。以及生物組織表面和內(nèi)部成份和分布分析。包括如半導(dǎo)體,生物,冶金,汽車等領(lǐng)域。
 
  離子分子質(zhì)譜儀送樣時注意事項(xiàng):
  1、待測試的樣品表面不能被沾污;
 
  2、易潮解,易與空氣發(fā)生反應(yīng)的樣品,在送樣過程中應(yīng)注意隔離空氣;
 
  3、用帶蓋的玻璃小試管、小容量瓶等容器裝樣;不要直接使用塑料容器、塑料袋、含硅的膠帶或膠面和紙袋,以免硅樹脂或纖維污染樣品表面;
 
  4、如為揮發(fā)性高分子樣品或具揮發(fā)性覆膜,務(wù)必先自行在真空加熱爐中抽除揮發(fā)性分子;如果樣品置入真空腔后,隔夜無法抽至5X10E-7torr以下,測試將被取消;

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